四腔串联压电泵的结构设计与性能分析

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为提高压电泵的输出压力,结合多腔体串联压电泵的工作特点,采用一种带有伞形截止阀的方式,设计了一种堆叠式四腔串联压电泵。该种结构设计使泵具有结构紧凑,腔体内流道较短,几何体积较小等优点。对四腔串联压电泵在不同个数振子驱动下进行输出流量与输出压力测试,结果发现,多振子工作时输出流量约为单个振子工作时输出流量2√n倍(n为驱动振子个数),当2个或3个振子工作时,输出压力约为n倍。在110V正弦交流电驱动下,所设计的四腔串联压电泵最大输出水的流量可达980 mL/min,最大输出压力可达123 kPa。
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