高灵敏度迈克尔逊测角干涉仪

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1.前言在角度测量中常常用到一些以 Michelson为基础的光学测量方法,它们具有高灵敏度,但测量范围有限。1974年,Chapman 研制成一台高灵敏度装置,其分辨率为每条纹对应0.057(角)秒,测量范围为+3°到-3°[1]。我们早期研制的杠杆装置的灵敏度为10~(-4)(角) 1. Introduction Some Michelson-based optical measurement methods are commonly used in angle measurement. They have high sensitivity but limited measurement range. In 1974, Chapman developed a highly sensitive device with a resolution of 0.057 (angular) seconds per stripe and a measurement range of + 3 ° to -3 ° [1]. The sensitivity of the lever device we developed earlier is 10 ~ (-4) (angle)
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