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洁净室性能测试及认证的基础
洁净室性能测试及认证的基础
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hackxingxing
【摘 要】
:
<正> 由于当今芯片的线宽日趋细小,其设计和加工的工艺要求日益复杂,因此设计和建造相应的超净洁净室的价格也就变的非常昂贵,所以洁净室性能的测试就变的日益重要。在下面这
【作 者】
:
InderjitSingh OngYanChai
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
洁净室
性能测试
芯片
测试标准
认证报告
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<正> 由于当今芯片的线宽日趋细小,其设计和加工的工艺要求日益复杂,因此设计和建造相应的超净洁净室的价格也就变的非常昂贵,所以洁净室性能的测试就变的日益重要。在下面这篇文章中,新加坡CESSTECH公司突出了洁净室性能测试的重要性,并着眼于动态测试、测试标准和一些被推荐的惯例。
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