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罗门哈斯扩展高级化学机械研磨VISIONPAD系列
罗门哈斯扩展高级化学机械研磨VISIONPAD系列
来源 :世界电子元器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cqwzhy1990
【摘 要】
:
罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
【出 处】
:
世界电子元器件
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
化学机械研磨
AD系列
罗门哈斯电子材料公司
CMP技术
使用寿命
研磨能力
缺陷率
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罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。
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