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平面型Gunn器件低温SiO2和PSG的淀积
平面型Gunn器件低温SiO2和PSG的淀积
来源 :分析测试技术与仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shuaigekk1989
【摘 要】
:
采用“夹层结构”的方法制作平面型Gunn畴雪崩器件的n型GaAs外延材料,以及低温(420℃~450℃)淀积SiO2的原理,工艺条件和可控硅电路。
【作 者】
:
徐建成
刘澎
陈定钦
【机 构】
:
首都师范大学物理系,中央人民广播电台,中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
分析测试技术与仪器
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
低温淀积
畴雪崩器件
二氧化硅
PSG淀积
Deposit at low temperature
SiO_2
Domain avalanche device
S
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采用“夹层结构”的方法制作平面型Gunn畴雪崩器件的n型GaAs外延材料,以及低温(420℃~450℃)淀积SiO2的原理,工艺条件和可控硅电路。
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