【摘 要】
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通过在硅基铝膜上用二次阳极氧化的方法，在草酸溶液中制备出了垂直于模板的高度有序的Si基超薄多孔阳极氧化铝膜，孔径70nm，厚度可控。扫描电镜（SEM）观察表面，经过二次阳极氧化，孔洞
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通过在硅基铝膜上用二次阳极氧化的方法，在草酸溶液中制备出了垂直于模板的高度有序的Si基超薄多孔阳极氧化铝膜，孔径70nm，厚度可控。扫描电镜（SEM）观察表面，经过二次阳极氧化，孔洞的分布均匀性得到有效提高，孔在一定区域内呈现有序的六角分布，可以为ZnO纳米棒阵列的制备提供模板。研究了它的形成机理。
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