典型CMOS器件总剂量加速试验方法验证

来源 :辐射研究与辐射工艺学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xtljj

【摘要】

：

应用美军标试验方法1019.5和1019.4分别对两种典型(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Transistor,CMOS)器件进行试验验证,论述了试验原理,对试验现象进行了详细的分

【作者】

：

罗尹虹龚建成郭红霞何宝平张凤祁

【机构】

：

西安西北核技术研究所

【出处】

：

辐射研究与辐射工艺学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

美军标1019.5 互补型金属氧化物半导体器件辐射效应评估 MIL-STD-883 Test Method 1019.5 Complementary Met

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应用美军标试验方法1019.5和1019.4分别对两种典型(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor Transistor,CMOS)器件进行试验验证,论述了试验原理,对试验现象进行了详细的分析,了解实验室条件下评估空间氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷的可行性和保守性.实验表明,两种不同工艺的CC4069器件没有通过1019.5所做出的试验验证,从实验现象观察认为是由于界面陷阱电荷大量建立所引起的.加固LC4007-RHANMOS却通过了与1019.5相比过分保守的101

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