【摘 要】
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随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘
【基金项目】
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本文受陕西省自然科学基金(99X05)和西安电子科技大学青年科研工作站资助.
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随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据Hamaker理论和赫兹理论,用连续方法推导出粘着力的力学模型;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系;仿真结果同相关实验一致;从而为DMD设计,加工及纳米碰撞、纳米摩擦的研究提供理论基础.
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