【摘 要】
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Hydrogen distribution and content in diamond films deposited by DC arcjet under gas recycling mode was evaluated by nuclear reaction analysis (NRA). The films w
【机 构】
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MaterialsScienceandEngineeringSchool,InstituteofHeavyIonPhysics
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Hydrogen distribution and content in diamond films deposited by DC arcjet under gas recycling mode was evaluated by nuclear reaction analysis (NRA). The films were characterized using scanning electron microscopy, X-ray diffraction and Raman spectrometry.
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