Entegris发布高纯度气体纯化系统平台

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zjcamel

【摘要】

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<正>Entegris近日宣布引进新的先进气体纯化平台,以提高半导体和LED应用的晶圆良率。新系列GateKeeper誖气体纯化系统(GPS)采用新的纯化介质,可在各种流量下提供一流的气体

【出处】

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中国集成电路

【发表日期】

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2017年03期

【关键词】

：

气体纯化 Entegris 系统平台

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<正>Entegris近日宣布引进新的先进气体纯化平台,以提高半导体和LED应用的晶圆良率。新系列GateKeeper誖气体纯化系统(GPS)采用新的纯化介质,可在各种流量下提供一流的气体纯度,且设备占用空间更少。随着产能扩充到了韩国,现在Entegris可同时在北美和亚洲生产GateKeeper GPS系

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