【摘 要】
：
为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜。用扫描电子显微镜(KYKY-1000B)和显微激光拉曼光谱仪(JY Labram HR 800)
论文部分内容阅读
为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜。用扫描电子显微镜(KYKY-1000B)和显微激光拉曼光谱仪(JY Labram HR 800)分析研究了不同掺杂分数的锗成分对掺锗多晶硅薄膜的表面形貌、组织结构及薄膜晶化率的影响。结果表明:随着锗掺杂分数的增加薄膜表面更加平整、晶粒粒径变大分布更加均匀,晶化率升高;当掺杂分数为1%时,薄膜表面晶粒尺寸可达1μm、晶化率达到87.37%;但当掺杂分数超过1%,镀层表面又变得粗糙、部分晶粒发生变形、晶化率降低。这说明适量锗的掺入可以改善多晶硅薄膜表面平整度,促进薄膜表面晶粒的形成和长大,提高薄膜晶化率。
其他文献
百叶窗和纵向涡发生器都能够较大幅度提升翅片管换热器的换热能力,同时其流动阻力也相应增大.本文利用CFD技术对4种不同类型的翅片管换热器(平翅片、百叶窗翅片、百叶窗加装
立塔一般高度大,断面较小,荷载大,对其地基基础及周边进行详细、全面的勘探工作,并据此进行的分析和评价工作的重要性不言而喻。本文作者结合工程实例详细的论述了高层立塔岩
使用水热法在石英衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和低温光致发光谱技术对薄膜的微结构和发光性能进行了表征。结果表明,薄膜由氧化锌纳米
一、强力推进维修基金设立rn河南省在调查研究农村饮水安全工程维修基金的基础上,及时发现、培育了舞钢市设市饮水安全工程维修基金的经验,经过2年的探索,决定在全省范围内全
1扦插时间在宁夏地区,6月初至8月中旬都可以进行育苗。2育苗前的准备工作2.1设施及安装普通日光温棚采用聚乙烯棚膜,透光率60%~70%。雾化微喷装置是温棚嫩枝扦插的重要设备。
近日,一边是坚持调控不动摇言犹在耳,一边却是楼市量价齐升势头明显.破解楼市困局,显然需要更大的勇气和智慧.rn客观来说,今年以来在调控的持续作用下,房地产市场表现相对平
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥