用电泳法制备ZnxMg1-xO薄膜及其特性研究

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用电泳法制备了一系列ZnxMg1-xO薄膜.对ZnxMg1-xO薄膜的光致发光研究表明,在薄膜发射谱的紫外区域有两个显著的峰,分别对应自由激子和激子间碰撞的发光.在可见光区域,发射谱的强度基本保持恒定,没有发现通常报道的绿光发射,说明生长的薄膜中氧与其他元素保持很好的化学配比,抑制了基于氧空位的绿带发射机理.另一方面,薄膜成分中Mg含量的变化和退火温度的变化对薄膜的发射谱有显著的影响,表现在ZnxMg1-xO的紫外发射峰随Mg含量的增加向短波方向移动,同时峰强度随退火温度的升高显著增加.
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