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用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究
用PECVD制备的薄膜H2敏元件研究
来源 :云南大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuzhao123456
【摘 要】
:
用PECVD法制备了具有较高灵敏度与选择性的H2薄膜元件。
【作 者】
:
王长虹
金建东
【机 构】
:
电子部四十九所
【出 处】
:
云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
PECVD
薄膜
二氧化锡
氢敏元件
气敏元件
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用PECVD法制备了具有较高灵敏度与选择性的H2薄膜元件。
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