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研究了添加稀土氧化物热压氮化硅陶瓷及外加不同含量 Al_2O_3的热压氮化硅陶瓷的蠕变机制。前者的应力指数 n 值为1.5,显示了一种由晶界扩散和伴有空洞形成的晶界滑移同时控制的复合蠕变机制。后者视 Al_2O_3加入量不同。n 值从2.4增大至3.8,表现了一种由空洞生长引起的晶界分离所控制的蠕变机制。LaYO_3晶相从晶界玻璃相中的析出,使前者的 n 值降低至1.1,蠕变机制转为由单一的晶界扩散所控制。