【摘 要】
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采用双离子束溅射沉积法制备SiOxNy复合非晶薄膜,傅里叶变换红外光谱（FTIR）及X射线衍射谱（XPS）测试表明,薄膜成分由Si、O、N元素组成,在室温下可观察到样品有波长为400nm（紫光）、47
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采用双离子束溅射沉积法制备SiOxNy复合非晶薄膜,傅里叶变换红外光谱（FTIR）及X射线衍射谱（XPS）测试表明,薄膜成分由Si、O、N元素组成,在室温下可观察到样品有波长为400nm（紫光）、470nm（蓝光）的光致发光。根据测试结果分析研究SiOxNy薄膜的可能发光机理：波长为470nm处发光峰来自于硅基薄膜中中性氧空位缺陷（O2≡Si-Si≡O2）,是由于氧原子配位的二价硅的单态-单态之间的跃迁所致,其发光强度随退火温度的升高而变化,800℃时最大,高于800℃时慢慢减弱;波长为400nm发光峰的
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