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讨论了利用线阵ＣＣＤ图像测量方法。配备Ｚ、Ｙ二维运动工作台及绕Ｚ轴回转数显工作台，对异形回转体三维轮廓尺寸进行检测，用Ｍａｒｒ边缘检测算子对ＣＣＤ获得的原始灰度图像进行处理，采取最小二乘法完成曲线拟合，以获得亚像元分辨率。在对φ２００ｍｍ异形回转体零件进行尺寸测量时，测量系统的分辨率达到微米级的水平。