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用溶胶-凝胶旋涂的方法在Si（100）衬底上成功制备了MgxZn1-xO薄膜。通过对样品的X射线衍射花样进行分析,发现制得的样品都有明显的C轴取向。掺入Mg后C轴参数逐渐变小,这表明Mg离子进入了ZnO晶格。随着镁的掺入,其光致发光谱中的紫外发射峰的峰位发生明显蓝移,从3.28eV线性地变化到3.45eV。值得注意的是,掺入镁离子后,薄膜的紫外发光和可见发光的强度都显著高于ZnO。