电容位移测量仪的校准与薄膜的磁致伸缩测量

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自制了一套电容位移测量仪的校准装置,并对DWS型电容位移测量仪进行了校准和标定,使位移测量仪在较宽的量程范围内获得的悬臂梁位移测量值的误差≤5%。通过采用经改进校准和标定的位移测量仪,利用悬臂梁-电容法测定了稀土超磁致伸缩薄膜样品的磁致伸缩系数λ,提高了测量精度。
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