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详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验，分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，并进行了分析。
软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性
【摘 要】
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详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验，分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，并进行了分析。
【机 构】
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ShanghaiInstofOpticsandFine
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1994年6期
【基金项目】
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国家863高技术计划的资助
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