二烯丙基硒的研制

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报道了用于MOCVD工艺制备半导体材料的新MO源二烯丙基硒的合成方法.用红外光谱及核磁共振波谱对二烯丙基硒进行了结构分析. The synthesis of a new MO source diallylselenium for MOCVD process for the preparation of semiconductor materials has been reported. Structural analysis of diallyl selenide was carried out by infrared spectroscopy and nuclear magnetic resonance spectroscopy.
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