GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定

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对"GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度.
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