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从生产角度分析了彩色滤光片中液晶间隔柱制造过程中遇到的显影液残留缺陷．通过EDS分析、机台比对等多种手法，明确确定了不良缺陷发生的原因，并通过多组实验方法的对比结果，找出了控制显影液残留的最佳方法。
彩色滤光片制程中显影液残留缺陷的改善
【摘 要】
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从生产角度分析了彩色滤光片中液晶间隔柱制造过程中遇到的显影液残留缺陷．通过EDS分析、机台比对等多种手法，明确确定了不良缺陷发生的原因，并通过多组实验方法的对比结果，找出
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海广电富士光电材料有限公司
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2012年3期
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