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探讨了用微波等离子体化学气相沉积法在Ｓｉ（１００）衬底上加偏压电场和不加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为，并经用原子力显微镜分析，偏压电场对金刚石成核有促进作用，文章也分析了偏压电场所以能促进金刚石成核的机制。
金刚石膜在偏压电场作用下的成核行为
【摘 要】
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探讨了用微波等离子体化学气相沉积法在Ｓｉ（１００）衬底上加偏压电场和不加偏压电场情况下金刚石膜的成核行为，并经用原子力显微镜分析，偏压电场对金刚石成核有促进作用，文章也分析了偏压电
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院
【出 处】
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上海大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1999年6期
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