【摘 要】
：
为研究铜互连系统中各因素对残余应力及应力迁移失效的影响,建立了三维有限元模型,用ANSYs软件分析计算了Cu互连系统中的残余应力分布情况,并对比分析了不同结构、位置及层间
论文部分内容阅读
为研究铜互连系统中各因素对残余应力及应力迁移失效的影响,建立了三维有限元模型,用ANSYs软件分析计算了Cu互连系统中的残余应力分布情况,并对比分析了不同结构、位置及层间介质材料的互连系统中的残余应力及应力梯度.残余应力在金属线中通孔正下方M2互连顶端最小,在通孔内部达到极大值,应力梯度在Cu M2互连顶端通孔拐角底部位置达到极大值.双通孔结构相对单通孔结构应力分布更为均匀,应力梯度更小.结果表明,空洞最易形成位置由应力和应力梯度的大小共同决定,应力极大值随通孔直径和层间介质介电常数的减小而下降,随线宽和
其他文献
介绍了一种用于制作生物微阵列的新型微喷阵列芯片.基于半导体光刻技术和干法刻蚀技术,成功制作了喷孔外侧含有间隙环的硅微喷阵列芯片,解决了溶液进样难、微阵列样品点缺失
提出定向反应合成过程制备液氮温区超导化合物YBa_2Cu_3O_x;报道了制备零电阻温度为90—94.5K,ΔT=1K的YBa_2Cu_3O_x的试验结果;试验确定并讨论了Y_2Cu_2O_5-CuO-YBa_2Cu_3O_
在多孔介质的连续介质模型基础上建立了宏观偏析模拟计算的诸方程,采用尝试法计算解决了各个方程中由于未知变量相互制约而引起的非线性问题,结果表明,Al-Cu合金铸锭在低速冷
采用文献资料法、问卷调查法、对比分析法等对徐州工业职业技术院校开设三门球选项课的成效进行实证研究。结果表明：三门球这一新兴运动项目,深受当代大学生喜爱,三门球选项课
本文对Fe 29.37Ni-0.34C合金中的马氏体形态和亚结构进行了研究,试样经过两次分级冷却后,通过彩色金相和薄膜透射电镜研究表明,在不同的温度下,存在着透镜片状、中突片状和薄
借助原子力显微镜,选用无针尖探针测量了材料为SCR500的成型点的力学性能,由于成型点的形状为椭球,根据测量方法建立了球-平面探针接触的Johnson-Kendall-Roberts弹性接触模
在21世纪新课标改革的浪潮中,为培养学生更多的兴趣爱好,发挥其所长,我国各大高校的众多科目都在尝试新的教学方式,体育教学也是如此。传统的体育教学模式固然有其优势,但其
提出了一个同时表示CVD过程的气体流动、温度分布和物质传输的三维数学模型。应用这个模型预报了在含有SiCl_4的氢气流中沉积出Si的锥台式反应器中的速度场、温度场和浓度场
本文研究了LD10铝合金和Ti-6Al-4V合金近门槛值疲劳裂纹扩展的断口形貌。SEM观察表明:两种合金的近门槛值区域(1×10~(-7)-1×10~(-5)mm/cycle)的微观断口形貌均为循