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国际半导体技术发展路线图2008年更新版综述(四)
国际半导体技术发展路线图2008年更新版综述(四)
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanjie119
【摘 要】
:
2008年,绝大多数的前端工艺技术需求表都需要进行更新。最重要的更新是表FEP4a和4b:热生长/薄膜/掺杂/刻蚀。表FEP4的变动受到新的ORTC高性能、低待机功耗、低运行功耗逻辑器件物
【作 者】
:
王洪波(译)
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2009年9期
【关键词】
:
半导体技术
路线图
低待机功耗
综述
国际
按比例缩小
技术需求
器件物理
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2008年,绝大多数的前端工艺技术需求表都需要进行更新。最重要的更新是表FEP4a和4b:热生长/薄膜/掺杂/刻蚀。表FEP4的变动受到新的ORTC高性能、低待机功耗、低运行功耗逻辑器件物理栅长按比例缩小模型的驱动。
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