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室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜－聚丙烯己二酯（polypropylene adipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜。其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜，并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究。
柔性衬底铝掺杂氧化锌透明导电膜的特性研究
【摘 要】
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室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜－聚丙烯己二酯（polypropylene adipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜。其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚
【机 构】
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山东大学光电材料与器件研究所,山东大学物理系
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.69876025)
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