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论述了长波红外滤光片制备中膜系设计、监控方案设计、工艺条件等主要技术。列举了允差分析在优选膜系、改善膜厚监控中的具体应用。并以和菠 红外重要高折射率材料碲化铅为例，描述了研究膜赤道主确定重要工艺条件－－基板温度的试验方法及结果。
长波红外光学薄膜器件研究
【摘 要】
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论述了长波红外滤光片制备中膜系设计、监控方案设计、工艺条件等主要技术。列举了允差分析在优选膜系、改善膜厚监控中的具体应用。并以和菠 红外重要高折射率材料碲化铅为
【机 构】
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中科院上海技术物理研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1999年4期
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