【摘 要】
：
在射频溅射镀膜中,射频电源的反射功率偏大和靶打火一直是困扰行业的问题,本文从理论上说明射频系统和网络匹配问题,并结合实际和试验,讨论如何降低反射功率和减少靶打火的问
【机 构】
：
深圳新南亚技术开发有限公司,深圳新南亚技术开发有限公司 广东深圳518029,广东深圳518029
论文部分内容阅读
在射频溅射镀膜中,射频电源的反射功率偏大和靶打火一直是困扰行业的问题,本文从理论上说明射频系统和网络匹配问题,并结合实际和试验,讨论如何降低反射功率和减少靶打火的问题,并提供解决问题的相关资料,以资说明。
In the RF sputtering coating, the RF power reflection power is too large and the target ignition has been troubling the industry, this paper describes the RF system and the network matching problem theoretically, combined with practical and experimental, discuss how to reduce the reflected power and reduce the target Ignition problems, and provide information to solve the problem, to explain.
其他文献
分析了几种常见异常话单的产生原因
The causes of several common abnormal bills are analyzed
计算机技术作为现代社会化进步与发展的重要驱动力,其在社会生产及生活中的应用也日益深化.在计算机技术发展过程中,计算机软件开发也经历了由最初二层结构向多层结构发展的
战略性包装设计可有效提高线上业务盈利水平 芬兰著名纸张生产商斯达拉恩索公司近期公布了一项关于线上包装的调研报告。
根据微磁学模拟理论,设置交换耦合双层膜中的Smn-Co硬磁层和α-Fe软磁层薄膜总厚度各自保持不变,通过改变结构来研究其对磁化反转过程和磁性能的影响.结果表明,从双层膜变化
针对黑龙江省典型的住宅楼 ,提出了分布式和集中式两套布线方案 ,并比较分析了两种布线方式的组网方案、工程成本以及各自的优缺点。
For the typical residential building
对广东湛江 15年生和广西东门林场 7年生的杂交松试验林的生长和材性进行研究 ,结果表明 :广东湛江 15年生最优良杂交松组合 (正种加勒比松河 6×湿地松混合花粉 )的材积较对
立足甘南林区实际,对发生面积较大、危害较严重的云杉落针病(Lophodermiumpiceae)的防治技术进行了探讨和分析。
Based on the actual situation of Gannan forest area, th
简要介绍本地电信业务计费账务系统的特点、主要功能及与电信服务网账务处理系统的区别
Briefly introduce the characteristics, main functions and differences between
介绍石膏板护面纸特性要求,并结合生产实践描述了石膏板护面纸的工艺要点及常见问题的应对措施。