【摘 要】
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本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感
【机 构】
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南京航空学院南京航空学院自动控制系,南京航空学院东南大学
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本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感器样品,对其作了一系列性能测试。
In this paper, a new strain gauge pressure sensor is introduced. It uses quartz polycrystalline as elastic element and is made into a strain resistance by sputtering. In this paper, the sensor structure design, manufacturing process has done a more detailed discussion and research, and made a sensor sample, made a series of performance tests.
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