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研究用溶胶－凝胶方法制备PMNT（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程。通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与PMNT薄膜的形态。结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺，并成功地在Pt／Ti/SiO2/Si衬底上制备成（111）取向的PMNT薄膜。
溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响
【摘 要】
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研究用溶胶－凝胶方法制备PMNT（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程。通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与PMNT薄膜的形态。结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2002年2期
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