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钛酸锶钡（BaxSr1-xTiO3，简称BST）薄膜具有非线性强、漏电流小、居里温度可调等特点，因而在介质移相器、压控滤波器等方面有着广泛的应用前景。笔者对BaxSr1-xTiO3（x=0．45—0．90）系列陶瓷的晶体结构和介电性能、膜厚均匀性控制、BST薄膜的微结构（包括组成、晶体结构和电畴等）和介电非线性尺度效应、铁电薄膜介电非线性模型、薄膜型介质移相器的设计和制作等重要问题进行了研究，取得了以下研究结果：