论文部分内容阅读
提出了动态工艺条件控制的概念，即通过引入自适应算法ARMA，可对集成电路制造工艺效果进行预测，并根据预测结果，对工艺条件加以实时的调整控制，达到改善成品率的目的。采用动态工艺条件控制，打破了几十年来IC制造的固定模式，是IC制造领域具有重大创新性的提法。
IC制造中的ARMA模型分析与动态工艺控制
【摘 要】
：
提出了动态工艺条件控制的概念，即通过引入自适应算法ARMA，可对集成电路制造工艺效果进行预测，并根据预测结果，对工艺条件加以实时的调整控制，达到改善成品率的目的。采用动态工艺
【机 构】
：
清华大学微电子学研究所,中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2008年2期
其他文献
在一个高磁场下面的 AZ61 镁合金的团结行为被学习。AZ61 合金的腐蚀性质被测量电气化学的极化在 3.5 mol/L NaCl 的一个答案调查。结果证明高磁场能精制微观结构和利益铝转
档案事业是一项存史、资政、育人的工程，越来越需要引起社会各界的广泛关注，越来越需要提高服务大局、服务社会的能力和水平，越来越需要探索自身科学发展的有效路径。结合贯彻落实党的十八大精神和全国档案局馆长会议要求，档案工作者需要进一步树立“为党管档、为国守史、为民服务”的意识，从发展大局出发，从重点工作突破，拓展思路，创新方式，加快应用，推动档案事业科学发展。 一、围绕发展大局谋划档案工作思路 发挥
近日，昌平区档案局围绕全区人口规模调控、产业优化升级、推动文化传承与创新等方面进行深入研讨，并制定三项有力措施。一是严格审批程序，服务人口规模调控。二是加强档案监管，助
Al-5Ti-B 的准备条件的影响(当演员组并且热转动) 并且 Al-10Sr (当演员组和热渗出) 并且在谷物精炼上融化处理过程， A356 合金的修正性能试验性地被学习。为二主人合金， 50per
职业教育吸引力不足目前已成为阻碍职业教育发展的重要原因。分析了职业教育吸引力概念；在明确职业教育吸引力现状的基础上，探讨提高职业教育吸引力之路径，对突破目前职业教育发
公司的会计系统作为一个庞大的信息系统,它是公司系统的有机组成部分。公司治理机制的有效运行离不开会计系统的完善,同时会计系统要适应并促使完善公司治理机制。为了与公司
值此《北京档案》创刊三十周年之际，初为读者，继之作者，一度竞成编者的我，有幸目睹了《北京档案》三十年的风雨历程。谨此献上藏头诗一首，祝贺《北京档案》再铸辉煌。
Viewshare是一款来自美国的、面向数字文化遗产馆藏服务的网络平台,它以其独特的可视化、共享性和交互性等特点,为数字文化遗产的保存和共享提供了良好支持。文章介绍了Views