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本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平各异的二套超纯水制造系统中各主要装置对TOC的除去效率及其对TOC的影响.
IC工艺用超纯水系统的TOC实验研究
【摘 要】
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本文针对IC工艺用超纯水,从运行管理角度,以实验方法考察了超纯水制造过程中TOC(总有机炭)的若干问题.通过在线测量一次纯水、二次纯水的TOC含量和相应的数据统计,评估了水平
【机 构】
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无锡微电子科研中心(江苏无锡)
【出 处】
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第五届中国国际(北京)洁净技术论坛
【发表日期】
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2002年11期
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