【摘 要】
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ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)
【机 构】
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西北稀有金属材料研究院稀有金属特种材料国家重点实验室,郑州大学河南省资源与材料工业技术研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(52004253),宁夏自然科学基金资助项目(2020AAC03507)。
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ITO陶瓷靶材的结瘤行为严重影响靶材的应用及其溅射薄膜性能,对结瘤的形成机理进行深入研究具有重要意义。针对不同参数设置的ITO靶材进行磁控溅射,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)以及X射线光电子能谱仪(XPS)等技术分析靶材在溅射过程中的结瘤行为。结果表明:随着溅射时间的延长,刻蚀环深度增加,靶材表面开始出现结瘤并向刻蚀环蔓延,结瘤的出现使刻蚀环边缘溅射速率降低。结瘤主要由缺O富Sn的非化学计量比ITO组成,是靶材被溅射原子在低溅射速率处反向沉积形成。由于Sn原子在不同区域的溅射差异以及
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