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使用蒙特卡洛方法,在一维和二维模型下分别计算了20keV的Ti+分别注入彩棉种子和花生种子的深度浓度分布。通过与同样初始条件下的TRIM程序计算结果和高斯拟合结果比较,本研究提出的二维模型获得的计算结果更加接近实验值。使用该二维模型计算了不同剂量下110keV的Fe+注入彩棉种子和花生种子的深度浓度分布,并分析讨论了计算与实验结果有差异的一些原因。同时,使用二维模型计算和预测了20keV的Fe+和N+分别注入彩棉和花生种子的深度浓度分布。结果表明理论模型建立相对合理,为研究离子与种子靶材料的相互作用提供了