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陶瓷-玻璃-单晶硅的阳极键合工艺性研究
陶瓷-玻璃-单晶硅的阳极键合工艺性研究
来源 :机械工程与自动化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xbq001
【摘 要】
:
首先采用射频磁控溅射法在ZrO2陶瓷基体上沉积一层钠硼硅酸盐玻璃,并通过该钠硼硅酸盐玻璃薄膜作为中间层利用阳极键合方法实现了ZrO2陶瓷与单晶硅的间接连接。
【作 者】
:
阴旭
刘翠荣
【机 构】
:
太原科技大学
【出 处】
:
机械工程与自动化
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
阳极键合
射频磁控溅射
钠硼硅酸盐玻璃薄膜
anodic bonding RF magnetron sputteringNa2O-B2O3-SiO2 glass
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首先采用射频磁控溅射法在ZrO2陶瓷基体上沉积一层钠硼硅酸盐玻璃,并通过该钠硼硅酸盐玻璃薄膜作为中间层利用阳极键合方法实现了ZrO2陶瓷与单晶硅的间接连接。
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