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通过对GaAs/GaAlAs激光器谐振腔前、后腔面蒸镀ZrO2和ZrO2、MgF2的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率、反射率分别由无膜时的68％、32％，镀膜后提高到94％、95．0％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，保护了器件端面。
半导体激光器腔面全介质涂层的研究
【摘 要】
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通过对GaAs/GaAlAs激光器谐振腔前、后腔面蒸镀ZrO2和ZrO2、MgF2的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率、反射率分别由无膜时的68％、32％，镀膜后提高到94％、95．0％以上，提高了激
【机 构】
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长春光学精密机械学院现代光学研究室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年3期
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