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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.
类金刚石膜的性能、制备与应用(二)
【摘 要】
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类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在
【机 构】
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核工业西南物理研究院,四川,成都,610041
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2008年1期
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