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压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响
压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响
来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LALOVE
【摘 要】
:
根据高华建的复合弹性模量模型,提出了用一个测点的载荷-位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基合硬度分布的方法,探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响,指出可由膜-基
【作 者】
:
徐可为
陈国良
【机 构】
:
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,北京科技大学新金属材料国家重点实验室
【出 处】
:
金属学报
【发表日期】
:
1997年1期
【关键词】
:
薄膜
硬度
弹性模量
压痕尺寸效应
膜厚
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根据高华建的复合弹性模量模型,提出了用一个测点的载荷-位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基合硬度分布的方法,探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响,指出可由膜-基复合能反推膜本身的性能。
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