【摘 要】
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本文讨论了离子镀的物理过程,评述了离子镀中蒸汽流的各种产生方法和提高离化率的措施,并指出了离子镀的优缺点和发展方向.
In this paper, the physical process of ion pl
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本文讨论了离子镀的物理过程,评述了离子镀中蒸汽流的各种产生方法和提高离化率的措施,并指出了离子镀的优缺点和发展方向.
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