铒离子注入KTiOPO_4晶体卢瑟福背散射研究

来源 :济宁学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：flyinsky_zxt

【摘要】

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稀土元素铒离子在光通信技术的发展中具有非常重要的作用.通过离子注入的方法把铒离子掺杂到KTiOPO4晶体,采用卢瑟福背散射技术分析了铒离子在注入晶体中的射程分布;对注入的

【作者】

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王亮玲崔晓军

【机构】

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济宁学院物理与信息工程系,济南大学理学院

【出处】

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济宁学院学报

【发表日期】

：

2010年6期

【关键词】

：

离子注入铒离子 KTiOPO4晶体 ion implantation Erbium KTIOPO4 crystal

【基金项目】

：

山东省中青年科学家科研奖励基金计划项目（BS2010CL008）, 山东省高等学校科技计划项目（J10LA56）, 济宁学院青年基金项目（2009QNKJ01）

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稀土元素铒离子在光通信技术的发展中具有非常重要的作用.通过离子注入的方法把铒离子掺杂到KTiOPO4晶体,采用卢瑟福背散射技术分析了铒离子在注入晶体中的射程分布;对注入的KTiOPO4晶体进行退火处理,分析发现铒离子在KTiOPO4晶体中退火后的深度分布不再是高斯分布,是两个峰的分布.研究结果对铒离子注入KTiOPO4后的晶格缺陷、注入损伤分布等提供了重要的数据参考和理论依据.

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