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从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。
提高露点法测定高纯气体中痕量水灵敏度的初探
【摘 要】
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从理论和机理上探讨了用露点法测定电子级气体中水含量低于-80℃露点的方法,指出,只要控制好镜面温度的下降速率,就可以实现测到-120℃以下露点。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所北京100083
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1992年1期
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