真空微电子压力传感器阵列数据采集研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiang5656

【摘要】

：

阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形.设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A/D数据采集系统.系统采用微机为主控单元,地址发生和时序控制部

【作者】

：

潘银松温志渝梁玉前蒋子平

【机构】

：

重庆大学光电技术系统实验室

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

真空微电子压力传感器阵列数据采集 MEMS 工作原理可编程逻辑器件电路板设计

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阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形.设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A/D数据采集系统.系统采用微机为主控单元,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件(CPLD)实现,提高了设计的灵活性,简化了电路板设计.利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集,最后给出了实验结果.

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