以切克劳斯基方法生长中的晶体温度分布的理论研究

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ananluo2009
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通过对不同温度下各个表面的热辐射和气体对流的相互转换的讨论,计算解决从熔体生长晶体的热转换问题。当晶体在真空中生长时,热辐射的相互转换大大地影响生长晶体的温度分布;当晶体在气体中生长时,气体对流对晶体温度分布起主导作用。 Through the discussion of the mutual conversion of the heat radiation and the convection of gases at different temperatures, the problem of heat transfer from the crystal grown by the melt is solved. As the crystals grow in a vacuum, the mutual conversion of heat radiation greatly affects the temperature distribution of the growing crystals; convection of the gases plays a dominant role in the temperature distribution of the crystals as the crystals grow in the gas.
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