【摘 要】
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研究了离子注入设备的结构组成和工艺流程,介绍了设备控制系统的架构和功能设计思路.利用有限状态机中的层级状态机思路,建立了晶圆传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础,并且建立了强时序性的逻辑调度任务状态模型.通过获取系统运行晶圆数量及工艺顺序,模拟晶圆的运行路径,以系统工艺时间效率为评价标准,采用分段调度策略寻找最优路径的方法,设计了一套自动上下料的控制系统.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南 长沙 410111
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研究了离子注入设备的结构组成和工艺流程,介绍了设备控制系统的架构和功能设计思路.利用有限状态机中的层级状态机思路,建立了晶圆传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础,并且建立了强时序性的逻辑调度任务状态模型.通过获取系统运行晶圆数量及工艺顺序,模拟晶圆的运行路径,以系统工艺时间效率为评价标准,采用分段调度策略寻找最优路径的方法,设计了一套自动上下料的控制系统.
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