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碳化硅材料由于其独特优势受到了广泛的重视。适用于硅器件的一些传统结温提取方法,在碳化硅器件中应用将会失效。因此,需要找到适用于碳化硅器件的结温提取方法。本文介绍了碳化硅的材料特性及其在功率器件中的应用。对结温提取的传统方法和新兴方法进行了归纳总结和比较分析。总结了功率半导体器件常用的热敏参数,介绍了各参数在碳化硅中的应用现状。