基于飞秒光频梳的压电陶瓷闭环位移控制系统

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利用飞秒光频梳、外腔可调谐半导体激光器和法布里-珀罗干涉仪建立了一套压电陶瓷亚纳米级闭环位移控制系统.将可调谐半导体激光器锁定至光频梳,通过精确调谐光频梳的重复频率,实现了半导体激光器在其工作频率范围内的精密调谐.利用Pound-Drever-Hall锁定技术将带有压电陶瓷的法布里-珀罗腔锁定至半导体激光器,进而通过频率发生系统控制压电陶瓷产生亚纳米级分辨率的位移.实验研究发现锁定至光频梳后可调谐半导体激光器1s的Allan标准偏差为1.68×10_(-12),将其在30.9496GHz范围内进行连续闭环调谐,可获得压电陶瓷的位移行程约为4.8μm;以3.75Hz的步长扫描光频梳的重复频率,实现了压电陶瓷的450pm闭环位移分辨率并测定了压电陶瓷的磁滞特性曲线.该系统不存在非线性测量误差,且激光频率及压电陶瓷位移均溯源至铷钟频率源. A set of piezoceramic sub-nanometer closed loop displacement control system was established by using femtosecond optical comb, external cavity tunable semiconductor laser and Fabry-Perot interferometer.The tunable semiconductor laser was locked to the optical frequency comb, Tuning the repetition frequency of the optical frequency comb enables the semiconductor laser to be finely tuned over its operating frequency range.Flat-Drever-Hall locking is used to lock the Fabry-Perot cavity with piezoceramic to a semiconductor laser, which in turn The displacement of the sub-nanometer resolution is controlled by the frequency generation system.The experimental study shows that the Allan standard deviation of the tunable semiconductor laser 1s locked to the optical frequency comb is 1 68 × 10 ~ (- 12), which is in the range of 30.9496GHz Within the continuous closed-loop tuning can be obtained piezoelectric ceramic displacement travel of about 4.8μm; 3.75Hz step scanning frequency comb frequency repetition rate, to achieve the piezoelectric ceramic 450pm closed-loop displacement resolution and measured the piezoelectric ceramic Hysteresis characteristics of the system.The system does not exist nonlinear measurement error, and the laser frequency and piezoelectric ceramic displacement are traceable to the rubidium clock frequency source.
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