非制冷红外焦平面高灵敏像元微桥设计

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介绍了硅微桥结构的传热物理模型及其理论计算方法。提出一种星膜像元尺寸为360μm×360μm,具有“桌形”绝热框架支撑的微桥结构像元,用有限元分析证明其有较小的热导G,能获得很高的响应率。微桥结构在非制冷红外焦平面(UFPA)单元探测器中起着力学支撑、热隔离和电连接的作用,其品质优劣直接影响着UFPA器件的成像性能。
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