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为了研究硅异质结太阳电池中纳米硅氧薄膜的光电特性，采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术制备了一系列不同晶态比例的nc—SiOx2H薄膜，利用拉曼散射光谱（Raman）、傅里叶变换红外光谱（FTIR）、紫外可见透射光谱以及稳／瞬态光致发光谱等检测手段分别对薄膜的微观结构、键合配置，能带特征以及发光特性进行了表征。薄膜结构特征分析显示，随着氧掺人量的增加，薄膜由微晶向非晶转化，光学带隙逐渐增加，而处在相变区（晶化度约为10％，nc—Si尺寸约为3nm）的薄膜具有较高的中程有序度、较小的结构因子和较为致密的微