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非致冷测辐射热计以其高性能和低价格 ,成为红外热成像技术新的研究热点。焦平面设计为桥式结构 ,器件制作采用微机械加工技术。文章介绍了该器件的设计、制作、性能和应用。
非致冷测辐射热计红外焦平面阵列
【摘 要】
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非致冷测辐射热计以其高性能和低价格 ,成为红外热成像技术新的研究热点。焦平面设计为桥式结构 ,器件制作采用微机械加工技术。文章介绍了该器件的设计、制作、性能和应用。
【机 构】
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电子科技大学光电子技术系
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年2期
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